更新時間：2023-11-13
合測實業為日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐一級代理商/特約經銷商。DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐最高工作溫度500℃、潔凈度100 級、氧濃度低于20ppm，主要應用于固化半導體晶圓（光刻膠PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐產品特點：
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。
最高工作溫度500℃。
采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。
高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。
磁密封保持高氣密性，采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
可實現快速升溫和降溫，升降溫速率可調節。
標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術參數：
| 型號 | DTN450C | DTN650C |
| 外形尺寸（寬× 深× 高mm） | 1240×1010×1750 | 1450×1060×1960 |
| 內尺寸（寬× 深× 高mm） | 450×450×450 | 660×500×660 |
| 內部容積 | 91L | 216L |
| 溫度范圍 | 室溫+50 ～ 500℃ | |
| 溫度調節精度 | ±1.0℃（at500℃） | |
| 溫度分布精度 | ±8.0℃（at500℃） | |
| 最高溫度到達時間 | 約110 分 | |
| 氧濃度 | 20ppm 以下 | |
| 氧濃度到達時間 | ≤ 20 分（250L/min 氮氣） | ≤ 25 分（250L/min 氮氣） |
| 潔凈度 | 溫度恒定時100 級 | |
| 加熱方式 | 不銹鋼加熱管 | |
| 冷卻機構 | 不銹鋼冷卻水換熱器 | |
| HEPA 過濾器 | 集塵效率：0.3um 粒子99.97% 以上 | |
| 排氣口 | 40KF 法蘭 | |
| 氮氣入口 | Rc1/2 | |
| 冷卻水入口 | Rc3/4 | |
| 熱水出口 | Rc3/4，2 個 | |
| 電源（50/60Hz）額定電流 | 3 相AC380V 20A | 3 相AC380V 27A |
安全性：
門檢測開關
溫度過升防止器
氧濃度異常安全裝置
氮氣壓力檢測
氮氣流量檢測
冷卻水流量檢測
漏水傳感器
過電流漏電漏電保護開關
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